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而關於城隍崇拜的起源，有說法認為可追溯到周朝，是除夕要祭祀八個神之一——水庸。據《禮記》所載，古代天子祭祀“八蜡”中的“水庸”，解釋為「水者隍也，庸者 ...

城隍，又稱城隍爺、城隍爺公、城隍老爺、城隍尊神、城隍菩薩，據說原本是從「城牆」與「護城河」演變而來的自然神，後來演變為「人格神」，並有陰間行政官、司法官的職責[1][2]。

「城」為城牆、「隍」指沒有水的護城河，即壕溝[1]。「城」「隍」二字同時出現時同一文章，最早應可追溯到《易經‧泰卦》的「城復於隍，勿用師。」，但此處的「城」與「隍」是用來比喻君王與臣子[1][2]。漢朝班固〈西都賦序〉中的「京都修宮室，浚城隍……」一句，則是單純指城牆與壕溝[1]。

而關於城隍崇拜的起源，有說法認為可追溯到周朝，是除夕要祭祀八個神之一——水庸。據《禮記》所載，古代天子祭祀「八蜡」中的「水庸」，解釋為「水者隍也，庸者城也」，故一般認為此為祭祀城隍之始，但此時的八蜡之祭應僅由天子祭祀，與後世城隍信仰情況不太相同[1]。

由漢代開始，城隍的祭祀活動不斷提升，各地人民更尊封已死功臣名將或英雄豪傑為城隍，其中有紀信與霍光等。

相傳三國時代的吳國曾建城隍廟；另在《北齊書‧慕容儼傳》記述，北齊大將慕容儼就曾於郢城拜城隍神祠而戰勝了南梁敵軍，為正史最早的明確記載[1]。而《隋書‧五行志》記載：「梁武陵王紀祭城隍神，將烹牛，忽有赤蛇繞牛口。」由此可知，在南北朝的城隍普遍為民間信仰。

唐代城隍信仰大盛，各地廣為建廟，並已出現求晴祈雨、招福避禍、禳災諸事的祭城隍文。撰文的不乏著名人士，其中有：韓愈、杜牧和李商隱等，其中最早的是張說所寫於開元五年（717年）的〈祭城隍文〉[1]。

到了宋代，由於祭祀城隍列入國家祀典，故城隍廟普及各府、州和縣。北宋歐陽修所寫的祭城隍文：「雨惟神有靈，可與雨語，吏竭其力，神祐以靈，各供其職，無愧斯民」，顯示了當時官吏們對城隍的敬重和互賴關係。而這時的城隍神也開始世俗、人格化，有些信徒開始將一些歷史名人尊奉為城隍[3][1]。

其後元朝，除在元大都（今北京）建城隍廟外，更封城隍為「佑聖王」。

到明太祖朱元璋時，對城隍特別崇敬，曾親詔劉三吾：「朕設京師城隍，俾統各府州縣之神，以鑒察民之善惡...